本机基本功能:1. 硅片几何尺寸测量:边长、对角线、同心度、垂直度、V 形毛刺等。2. 3D 硅片 TTV,MTV,LTV 和弯曲测量。3. 3D 硅片划痕检测。4. 微裂、气孔、崩边、缺角、裂纹检测。5. 检测指纹、水印、破片等。